经过十几天的调整,这台x射线光刻机终于逼近最小精度2纳米,尽管x射线光刻机使用的的波长是8纳米,但是通过凸透镜聚焦法,是可以实现2纳米级别的光栅。
在神光仪器的装配室内,x射线光刻机如一个集装箱,静静地陈列在其中。
这就是人类现代科技最精密的设备之一,比在头发丝上雕花还难千万倍。
不过这台光刻机也是思维社倾尽全力的杰作,黄明哲的私人小金库前前后后拿出来将近十亿,才有了这一台光刻机。
当然不是光刻机本身造价十亿,而是配套设施、材料研发、工艺实验这些项目在燃烧经费,幸好材料研发降低了整体难度,不然没有一百亿别想有效果出来。
“社长,2纳米已经是目前的极限,再小就会出现量子隧穿情况。”高致远说道。
黄明哲自然知道硅基芯片的极限:“大家辛苦了。致远我们一边谈谈。”
俩人来到一旁办公室。
“单台光刻机的成本是多少?”
“粗略估计2亿,还有研发经费和配套设施这些费用的分摊,我们必须通过大规模生产来分摊成本。”高致远回道。
工业化产品的研发就是这样,一开始产品的生产成本会非常高,但是随着产品量产,不断的摊薄生产和研发成本之后,整体成本就会不断下降。
“全力以赴,再打造一台光刻机,另外做好技术保密工作。”黄明哲吩咐道。
“没问题。”高致远连忙点头。
整个神光仪器都放弃了春节休假,全力以赴完善光刻机生产线和各个工艺环节的调整。
与此同时。
工信部。
专门负责电子行业的司长黄安国,神光仪器刚刚送上来的准生证申请,此时已经在他案头上。
另外几个副手也对于这件事议论纷纷。
“司长,这不会是在忽悠吧?”
“实现10~2纳米级别光刻机,他们在开玩笑吧?”
黄安国敲了敲桌子:“没有调查就没有发言权,另外思维电池那个新型电池的事情,上面的意思已经非常明白了,没有问题就通过了。”
其他几个副手尽管心思各异,但是面对这种情况,他们也知道自己卡不住。
思维社的创始人是黄明哲,随着黄明哲在数学界、物理界名气大增,现在更是后羿计划的总工程师,可以直达天听的存在。
他的一举一动,都会受到各方关注,那些想摘桃子的人,能量还没有大到紫光阁那边去。
通过了思维电池的准生证之后,黄安国想了想吩咐道:“安排一下专家组,我后天带队去岭南。”
如果思维电池的影响不大,那光刻机的影响就不一样了,如果神光仪器的光刻机属实,必将改变一个行业。
芯片制造行业在现代社会之中的作用非常多,也非常大,几乎是涉及到方方面面,日渐成为一个不可或缺的行业。
而国内目前仅有中芯国际,以及大员省的台积电,台积电的成分复杂,不可控因素非常多,目前可以勉强一用的只有中芯国际。
而国内芯片制造行业的最大短板,就是光刻机和光刻胶,其他的还勉勉强强可以应付,比如蚀刻机、离子注入机这些都没有什么大问题,就算是硅片也可以生产小尺寸的。
唯独光刻机和光刻胶被外国拿得死死地,如果贵一点,阿斯麦公司肯出售顶级光刻机,国内也不会感到如鲠在喉。
只能说很多东西其实是西方在逼迫华国,而不是华国一定要发展这些东西,而是不发展这些东西就要被压得死死地。
面对这种局面,只能硬碰硬的干,除此之外别无他选。
至于举手投降。
露西亚曾经也是这样想的,以为投降之后,敌人就会接纳自己,却没有想到最终是一厢情愿。
2月15日,此时春节刚刚过去。
黄安国就带着专家组来到了神光仪器公司。
“黄总工,久仰大名。”黄安国倒是不够摆架子。
“客气了。”黄明哲笑着说道。
“说起来汕美黄氏和江夏黄氏都是一脉相承,我和黄总工五百年还是一家呢。”
“大江南北皆是炎黄子孙。”黄明哲一边走一边回道。
“对,对。”黄安国不过是想拉一下关系,这个在国内非常正常。
神光仪器公司的安保比之前严格了许多,另外还配备了五只中华田园犬,毕竟光刻机技术太敏感了。
空旷的顶级无尘装配室内,高致远亲自带着上百员工、几十个研究员在忙碌着。
而在一旁的测试室内,第一台x射线光刻机,正在不断的测试和调整,毕竟是初代产品,大问题或许不多,但是小毛病铁定少不了。
黄明哲带着黄安国和那十几个专家,在更换了专门的工作服,又通过除尘、除静电等清洁,最后才进入测试室内。
一众专家一进入测试室内,便被陈列其中的x射线光刻机吸引住。
“黄总工,x射线光刻机的x射线辐射剂量是什么标准?”其中一个专家连忙问道。
这个问题非常重要,x射线的穿透力非常强,如果辐射剂量超标,那员工的身体必然出问题。
“这是辐射剂量检测仪,你们可以测试一下。”
几个专家操作起一台精度超高的环境辐射检测器。
[0.003602msv]
“好小,只有0.003602毫西弗。”
“其他位置也测试一下。”
其实是由于x射线光刻机的光刻胶光敏性非常高,导致x射线激光器的功率非常小。
加上之前在研发光刻胶的时候,材料研究所制造了一些副产品,其中就有可以吸收x射线的材料。
神光仪器在设计的一开始就非常注意x射线辐射的问题,他们利用这种材料,制造了一些可拆卸的辐射吸收隔板。
这些隔板可以吸收绝大部分散射出来的x射线,从而减少x射线对于周围环境的辐射剂量。
尽管这样做,需要隔一段时间更换一次隔板,但是至少员工不会因此辐射超标。
其实目前这个辐射剂量比医院的x光片(0.1msv)、ct(2~15msv),那是小得非常多,就和我们日常看电视受到的辐射剂量差不多。
加上工作人员的防护服也是神光仪器自己改造的产品,可以进一步阻挡x射线,所以这里的环境辐射,和外面环境已经没有太大差别。
“整体符合预期,环境辐射剂量在0.0032~0.0047毫西弗之间。”
负责记录的官方人员连忙将数据记录在表格上面。
接下来才是重头戏,这些专家们借用神光仪器的设备,检测了光刻机的精度以及其他各项参数。
单单是这个工作他们就进行了一个多星期,主要是为了确保万无一失,免得到时候成为一个国际笑话。